摘要：
本文源自:金融界 金融界 2024 年 11 月 15 日消息，国家知识产权局信息显示，罗博特科智能科技股份有限公司申请一项名为“一种工艺及自动化上下料一体机”的...
本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 15 日消息，国家知识产权局信息显示，罗博特科智能科技股份有限公司申请一项名为“一种工艺及自动化上下料一体机”的专利，公开号 CN 118943248 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明涉及一种工艺及自动化上下料一体机，包括机架、上下料装置、工艺装置、载舟搬送装置，机架具有上下分布的上下料区域、工艺区域上下料装置设置在上下料区域内，用于将位于花篮、载舟中的硅片进行相互转移；工艺装置设置在工艺区域内，包括工艺炉、传桨单元，工艺炉设置有多个且为卧式炉；载舟搬送装置在上下料区域、工艺区域之间可移动地设置，用于将装载有硅片的载舟在上下料装置、传桨单元之间进行相互搬送。本发明的工艺及自动化上下料设计为一体结构，极大精简载舟从插卸片工位到工艺炉之间的路径及各部分结构，结构精简，设备紧凑、占地空间小、取放硅片精度高、自动化程度高、稳定性高；制造、安装、维护更加方便；整机的成本更低。
